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Mikrotechnologie

Institut fuer Mikroproduktionstechnik [IMPT]

Versuch „Untersuchung des Beschichtungsprozesses der Kathodenzerstäubung („sputtering“)“

Überblick:
Ziel des Versuches ist die Untersuchung des Beschichtungsprozesses durch Kathodenzerstäubung. Die Kathodenzerstäubung dient der Herstellung dünner Schichten in der Größenordung weniger Nanometer, welche die Grundlage für zahlreiche mikrotechnologischer Anwendungen sind.
Im Rahmen der Versuchsdurchführung sollen mit einer Anlage zur Kathodenzerstäubung dünne Schichten aus unterschiedlichen Materialien hergestellt werden. Die Abscheideraten der Materialien sind zu bestimmen und zu vergleichen. Ferner sollen die Unterschiede im Abscheidungsverhalten der Materialien erklärt werden.

Durchführung:

  • Vorbesprechung
  • Versuchsdurchführung
  • Nachbesprechung + Testat


Nachbereitung:

  • Protokoll mit Beschreibung der Versuchsdurchführung und Auswertung der Messwerte sowie Diskussion der Ergebnisse